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电子特气管道系统

2019-12-05 15:33:35 0

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特气管道系统 Special Gas Pipeline System 是指SiH4,NF3,Cl2 易燃易爆的气体、有毒的气体、有腐蚀性的气体、纯度特别高(超过99.999百分比)的一些具有高危险性,应确保安全性的特气储存、输送与分配过程的设备、管道和部件的总称,特气系统工程是用于实现特气系统安全使用的工程。集团官网供给从供气系统;排气处理、监视系统的综合管理系统;建立以安全为第一的特气管理输送系统。供给策划、选型、制造、安装、测试、调试和系统托管效劳等整体解决Plan。

特气管道系统由储存、输送、分配、把握四类设备组成。此道“存储”指气源部分(特气柜GC),“输送”指配管部分(一般用双套管),“分配”指二次配部分(气体分配柜VMB),“把握”指监督把握部分(气体管理系统GMS)。


特气管道系统特点
特气系统中的每台设备均配有PLC把握、彩色触摸屏操作,带有温度、压力、烟雾、泄漏监控报警,并可扩展地震监控报警;单台设备可以独成系统独立运转,也可多台设备用PLC或TGO连起来组成大系统,在监控主题统一监控管理,其报警系统还可以与安监系统、消防系统对接。  

电子特种气体是光电子、微电子等区域,特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体质料制造过程不可缺少的底子性支撑源质料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子圆器件的质料、集成度、特定 技术实现 指标和成品率,并从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性。
适合场合
芯片半导体、微电子集团、光伏太阳能、生物制药、新质料等区域,常配套用于溅射真空镀、沉积刻蚀、钝化清洗等设备


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