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高纯气体管道系统

2019-12-05 15:34:06 0

高纯气体管道是高纯气体供气系统的要紧组成部分,是将符合要旨的高纯气体送至用气点仍保持质料合格的关键 ,包括系统的策划、管件及附件的决定、正式动土安装和试验测试等始末。目上来以大规模集成电路为代表的微电子产品生产对高纯气体的纯度和杂质含量的日益严格的要旨,使高纯气体的配管 技术实现 日益受到关注和重视。


高纯气体管道输送管道,要按照手工制作过程对气体纯度、允许的杂质含量、微粒含量等的要旨不同,采取应用相应质料的管材。譬喻半导体产业因其生产手工制作复杂、加工精细,它不单要旨有洁净的生产环境,而且对生产过程中所需的各种高纯气体有特定的、严格的要旨,从微米 技术实现 进入亚微米、深亚微米(小于0.35g.m) 技术实现 ,对气体中的杂质含量、水含量要旨极为严格,10 -6(ppm级)已经不能达到要旨,需要达到10-9(ppb级),甚至10-12(ppt级)。易于 输送管道本身的管道质料特性适应高纯、超高纯气体的要旨成为必须。


对输送高纯气体管道而言,其影响气体质料的管道质料主要特性是气体渗透性、出气速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、抗腐蚀性。


高纯气体的配管及材质

高纯气体管道的策划要点:

1.对于不同特性的气体,要计划独立的供应区域,一般分为三个区:腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区,将同样性质的气体聚集加强管理,可燃性气体区要特别计划防爆墙与泄漏口,若容量不足,可揣摩将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。
2.管道策划需要揣摩输送的跨距,跨距越长,底越高,风险也越高,一贯较合理的策划流速为20ml/S,可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S,在用量策划关键,则需要揣摩使用点的压力和管径大小,上者与气体特性有关,下者使用点的管径一般为1/4”~3/8”。
3.按照用气设备的分布环境,高纯气体的管网不宜过大或者过长;宜采取应用不封闭的环形管路,在系统末端连续不断排放少量的气体,以便在管网中总有高纯气体流通,不会发生“死容量”引起高纯气体的污染。
4.管路中应减少不流动气体的“死容量”,不应设有盲管,在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫把握装置、多阀门把握装置、用以把握各个阀门的开关顺序、系统吹除,以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物,降低气体纯度。
5.对高纯气体纯度要旨不同的用气设备,宜采取应用分等级高纯气体输送系统;也可采取应用同等级输送系统,但是在纯度要旨高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。
6.为了检测高纯气体的纯度和杂质含量,输送系统除了设置需要的连续检测仪器,如衡量水含量或者氧杂质含量等归纳仪外,还应设置定期取样用的检测采样口,以便按规定时间进行采样,归纳高纯气体中各种杂质的含量。
7.在亚微米级的集成电路生产中,要旨供应10-9级的高纯气体,为了确保末端用气手工制作设备处的气体纯度,使气体中的杂质含量(包括尘粒)把握在规定的数值内,一般在设备上设置末端纯化装置,或末端高精度气体过滤器

高纯气体配管及附件材质的决定

选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的质料。目上超大规模集成电路上工序高纯气体输送系统管道质料采取应用不锈钢光亮退火管(SS304BA、SS316BA)、不锈钢电抛光管(SS316L-EP)等,但是对要旨把握高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10-6及以下的管材应用SS316L-EP管。


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