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电子级三氯氢硅特种气体在半导体区域中的应用

2019-06-15 14:25:00        0

  电子级三氯氢硅特种气体在半导体区域中的应用

  电子级三氯氢硅噬想导体区域不可或缺的要紧电子特种气体原质料,国内目上主要依赖进口。随着国内集成电路区域快速增长,对电子级三氯氢硅需求呈日益增长态势。实现电子级三氯氢硅特种气体的国产化,对国内集成电路区域发展意义重大。本文细节归纳电子级三氯氢硅特种气体在芯片制造过程的感化。

  按照全球半导体商业统计组织(WSTS)发布的数据显示,2017年全球半导体销售收入达到4087亿美圆,同比增长20.6百分比。电子级三氯氢硅噬想导体区域不可或缺的要紧电子特种气体原质料,随着国内集成电路区域快速增长,对电子级三氯氢硅需求呈日益增长态势,但该关键底子原料国内目上主要依赖进口。其生产和制造存在非常高的 技术实现 要旨,当上,世界上只有美国、日本、德国等少数国家能够大规模生产符合芯片制造要旨的电子级三氯氢硅,较小的生产商是德国的Wacher集团官网和日本信越集团官网。电子级三氯氢硅进口产品到终端衣食父母Price约为每吨15-20万圆,是工业级三氯氢硅的几十倍。易于 ,电子级三氯氢硅特种气体研究对国内集成电路区域发展意义重大,值得深入研究应用。

  

半导体硅晶


  电子级三氯氢硅在芯片制造过程的感化

  电子级三氯氢硅可作为半导体外延硅片的硅源,主要被应用于制造各种半导体芯片和微型集成电路圆器件,是微电子、光电子圆件制造过程中不可或缺的要紧质料。半导体硅片外延层生长采取应用最多的是气相外延手工制作:氢(H2)气携带四氯化硅(SiCl4)或三氯氢硅(SiHCl3)、硅烷(SiH4)或二氯氢硅(SiH2Cl2)等进入置有硅衬底的反应室,在反应室进行 摄氏化学反应,使含硅反应气体还原或热分解,所产生的硅原子在衬底硅表面上外延生长。使用三氯氢硅作为硅源具有外延生长速度快,使用安全,是较为通用的硅源,其化学反应式为:SiHCl3+H2=Si+3HCl

  

电子特气管道系统


  随着国内集成电路区域快速发展,实现关键底子质料电子级三氯氢硅特种气体的国产化势在必行。国内部分集团,尤其是具备电子级多晶硅生产 技术实现 的集团已把握电子级三氯氢硅提纯 技术实现 ,但仍亟待建立充装运输过程质料把握准则。

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