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特气系统到底有何感化?

2020-03-30 11:08:41    责任编辑: 特气管道安装集团官网     0

特气系统到底有何感化?一个手工制作 技术实现 先进的大规模集成电路工厂的硅片制造过程中,全部手工制作大约要使用50种不同的电子气体.此道大部分为特种气体,小编就特气系统该怎么决定?让澳门皇冠金沙网站来告诉您吧!

特种气体按照气体性质不同一般分为:惰性气体、易燃易爆气体、有毒气体和腐蚀性气体;按照供应包装的不同分为:特种气体和大宗特种气体。

  1. easy特气供气系统
    easy供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂、半导体质料的科研机构以及一些单台的手工制作设备等。它们的制程easy,一贯不需要连续性供气,对气体供应系统的斥资估算低。


    由于气体流量小,不经常使用,特种气体气源多采取应用普通钢瓶(<50L)。输送系统多采取应用半自动气瓶柜或气瓶架加easy的把握面板;配置继电器把握,自动切换,手动吹扫,手动放空,有害性气体配备紧急切断阀。惰性气体瓶架则采取应用全手动系统,有些甚至用单瓶系统。全部气体共用一个气体房,甚至没有气体房,特气钢瓶和输送系统有时放在回风夹道,或直接放在手工制作制造设备旁边或隔壁。但若无特别危险气体一般共用一个抽风系统。easy供气系统一贯存在安全隐忧 。


  2. 通例特气供气系统
    通例供气系统主要应用于4-6英寸 大规模集成电路厂,50MW以下的太阳能电池生产线,发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等规模的电子区域。对气体纯度把握的要旨不苛刻,系统配备在满足安全的上提下尽量easy,节省斥资。


    特种气体采取应用普通钢瓶(<50L)供气。特气输送系统采取应用气瓶柜。配置全自动PLC把握器,彩色触摸屏;气体面板采取应用气动阀门和压力传感器,可实现自动切换,自动氮气吹扫,自动真空辅助放空;多重安全防护措施,泄漏侦测,远程紧急切断;专用氮气吹扫起源等等。VMB采取应用支路气动阀,氮气吹扫,真空辅助排空。惰性气体多采取应用半自动气瓶架,继电器把握,自动切换,手动吹扫,手动放空;VMB主管气动阀,氮气吹扫;支路气动阀,氮气吹扫,真空辅助排空。气体房和抽风系统按照气体性质进行分类。             


  3. 大宗特气供气系统
    大规模供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米)超大规模集成电路厂(气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),100MW如该的太阳能电池生产线(气体种类包括NH3),发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括NH3)、5代如该液晶显示器工厂(气体种类包括SIH4、CL2、NH3、NF3)等、光纤(气体种类包括SiCl4)、硅质料外延生产线(气体种类包括HCL)等区域。它们的斥资规模巨大,采取应用先进的手工制作制程设备,用气需求量大,对稳定和不间断供应、纯度把握和安全生产提出很严格的要旨。


    这些工厂的特种气体的供给,除了普通钢瓶(50L及以下)包装的特种气体外,还有多种类的特种气体都普遍采取应用大包装容器,由此它们被称为大宗特气,包括Y-钢瓶(450L),T-钢瓶(980L),集装格(940L),ISO罐(22,500L),鱼雷车(13,400L)等。


    大宗特气供应系统(BSGS)采取应用全自动PLC把握器,彩色触摸屏;气体面板采取应用气动阀门和压力传感器,可实现自动切换,自动氮气吹扫,自动真空辅助放空;多重安全防护措施,泄漏侦测,远程紧急切断;专用氮气吹扫起源等等。特种气体采取应用独立气源,多用点采取应用VMB或VMP分路供应,VMB或VMP采取应用支路气动阀,氮气吹扫,真空辅助排空等。由于BSGS气源总量大,多采取应用独立的气体房,独立的抽风系统

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