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电子气硅烷特气柜策划及硅烷气体管道要旨

2020-03-04 11:32:14        0

 硅烷特气柜策划及气路管道要旨

  硅烷在高高技术种应用越来越广泛,硅烷有什么感化,硅烷把握系统策划有哪些要旨?这里将进行介绍。硅烷易于 在高高技术中被广泛应用并且越来越要紧, 起首是与它的特性有关,再是也与现代高 技术实现 的特殊需求有关。通过热分解或与其它气体的化学反应,

  


硅烷的有什么感化


  1、可由硅烷制得单晶硅、多晶硅、非晶硅、金属硅化物、氮化硅、碳化硅、氧化硅等一系列含硅物质。

  2、利用硅烷可以实现zui高的纯度、zui精细(可达原子尺寸)的把握和最灵活多变的化学反应。易于 将各种含硅质料按各种需要制成复杂精细的结构, 这正是现代具有各种特异功能的质料和器件所要旨的基本条件。

  硅烷特气柜策划要旨

  1、硅烷由于其极其危险性,整套系统应该设置独立的惰性气体钢瓶进行吹扫,不得采取应用管道氮气吹扫;

  2、应该配备惰性吹扫装置、气体泄露侦测器、火焰探测器等;

  3、硅烷系统的排气管不得接入排风系统;

  4、排气管应采取应用惰性气体连续吹扫,吹扫气体流速不得小于0.3m/s

  5、排气的硅烷浓度较高时,应采取应用燃烧式尾气处理装置处理下排入大气。

  硅烷特气管道要旨

  特气管道安装一般采取应用充氩气加热处理而成,EP管采取应用电解研磨方式加工而成。其内、外表面极其光亮。洁净管道的焊接除了要达到通例工业管道对焊缝的要旨外,还要旨焊接时管内、外表面不受污染,焊缝内、外表面必须与母材光亮度基本一致。

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