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大宗气体管道系统策划要点

2020-03-27 10:35:46        0

澳门皇冠金沙网站是一家从事气体应用系统工程的高新手段集团,professional为衣食父母供给大宗气体系统、电子特气系统、实验室气路系统、工业聚集供气系统、高纯化学品供液系统、Local Scrubber尾气处理系统等全套工程 技术实现 效劳和配套产品的一站系统解决Plan,集团官网于2018年荣获“国家高新手段集团”认定。


伴随国内半导体、电子区域的快速发展,大宗供气系统的应用越来越广泛,像半导体、制芯、医药、食品等区域都不同程度的使用了供气系统,易于 气体管道的正式动土对于吾们来说也越来越要紧,要确保其安全性和经济性。

大宗供气系统噬想导体生产过程中必不可或缺的系统,其直接影响全厂生产的运行和产品的质料。相比较而言,集成电路芯片制造厂由于手工制作 技术实现 难度更高、生产过程更为复杂,易于 所需的气体种类更好优质、品味要旨更高、用量更大,也就更具有代表性。大宗供气系统是在气柜底子上开发出来的,可以持续进行超大流量不间断供应特气的供应系统。


一、大宗气体管道系统的策划

必须按照工厂所需用气量的环境,决定最合理和经济的供气方式。氮气的用量往往是很大的,按照其用量的不同,可揣摩采取应用以下两种方式供气:

(1)液氮储罐,用槽车定期进行充灌,高压的液态气体经蒸发器(Vaporizer)蒸发为气态下,供工厂使用。这是目上采取应用最多的一种方式。

(2)采取应用空分装置现场制氮。这适用于N2用量很大的场合。集成电路芯片制造厂多采取应用此方式供气,而且还再是设置液氮储罐作为备用,氧气和氩气往往采取应用超低温液氧储罐配以蒸发器的方式供应,氢气则以气态方式供应,一般采取应用钢瓶组(Bundle)即可满足生产要旨。

二、大宗气体输送管道系统的策划

经纯化下的大宗气体由气体纯化间送至辅助生产层(SubFAB)或生产车间(FAB)的架空地皮下,在这里形成配管网络,再由二次配管系统(Hook-up)送至各用户点。

(2)配管系统的基本策划原则是在主管上按一定间距设置支管端,再在每个支管上按一定间距设置分支管供二次配管使用。其余,主管的管径不必随流量的递减而采取渐缩策划。这种配管系统的确具有充溢的灵活性,但由于超高纯气体管路的管件和阀件Price昂贵,该系统的底之高也是显而易见的。一贯,集成电路芯片厂的建造往往会分成若干个阶段,一关键可以缓解一次性斥资的巨大股本压力,另一关键也可以按照环境状况作出相应的调整决策。在新厂建造的第一阶段,策划产量往往不是很高,用气点也不是很多,尤其是氢、氩、氧、氦的用气点就更少。易于 必须揣摩如何来简化该配管系统以降低底。

三、大宗气体管道系统其它策划要点

在策划中还应遵循国内其他相关规范,如《洁净厂房策划规范》、《氢氧站策划规范》、《供氢站策划规范》等,此道主要的策划要点有:

(1)在主管末端要策划气体取样口,对于氢气和氧气,还需在主管末端设置放散管。放散管引至露天,应高出屋脊1米,并应有防雨、放杂物侵入的措施;

(2)氢气、氧气管道间距小case;

(3)氧气管道及其阀门、附件应经严格脱脂处理,并应设导除静电的接地装备设施;

(4)氢气管道接至用气设备的支管和放散管,应设阻火器;引至露天的放散管,应设置防雷保护装备设施;应设导除静电的接地装备设施。


如该就噬夏门皇冠金沙网站About大宗气体管道系统策划要点的一些见解,瞩望能给有需要的用户供给参考!

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