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高纯气体管道系统策划配管及材质要旨

2020-03-10 09:54:35    责任编辑: 高纯气体管道安装集团官网     0

高纯气体管道系统策划配管及材质要旨


1.对于不同特性的气体,要计划独立的供应区域,一般分为三个区:腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区,将同样性质的气体聚集加强管理,可燃性气体区要特别计划防爆墙与泄漏口,若容量不足,可揣摩将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。

2.管路策划需要揣摩输送的跨距,跨距越长,底越高,风险也越高,一贯较合理的策划流速为20ml/S,可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S,在用量策划关键,则需要揣摩使用点的压力和管径大小,上者与气体特性有关,下者使用点的管径一般为1/4”~3/8”。

3.按照用气设备的分布环境,高纯气体的管网不宜过大或者过长;宜采取应用不封闭的环形管路,在系统末端连续不断排放少量的气体,以便在管网中总有高纯气体流通,不会发生“死容量”引起高纯气体的污染。

4.管路中应减少不流动气体的“死容量”,不应设有盲管,在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫把握装置、多阀门把握装置、用以把握各个阀门的开关顺序、系统吹除,以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物,降低气体纯度。

5.对高纯气体纯度要旨不同的用气设备,宜采取应用分等级高纯气体输送系统;也可采取应用同等级输送系统,但是在纯度要旨高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。

6.为了检测高纯气体的纯度和杂质含量,输送系统除了设置需要的连续检测仪器,如衡量水含量或者氧杂质含量等归纳仪外,还应设置定期取样用的检测采样口,以便按规定时间进行采样,归纳高纯气体中各种杂质的含量。

7.在亚微米级的集成电路生产中,要旨供应10-9级的高纯气体,为了确保末端用气手工制作设备处的气体纯度,使气体中的杂质含量(包括尘粒)把握在规定的数值内,一般在设备上设置末端纯化装置,或末端高精度气体过滤器


高纯气体配管及附件材质的决定

选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的质料。目上超大规模集成电路上工序高纯气体输送系统管道质料采取应用不锈钢光亮退火管(SS304BA、SS316BA)、不锈钢电抛光管(SS316L-EP)等,但是对要旨把握高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10-6及以下的管材应用SS316L-EP管。

注:①管路型式以气体特性策划,惰性气体使用一般的单层管,作为制程用的反应气体,则选用高等级其余SS316L-EP管;使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。

②对于自燃爆炸,有剧毒的特种气体,如SiH4、PH3、AsH3等则揣摩使用双套管,它的内/外管材质一般为SS316L-EP/SS316L-AP,此策划的主要鹄的有两点,起首可保护内管直接受到外力撞击,再者能将由内管渗漏的气体阻绝于外管,并利用相关的检测设备检测,目上常用的策划有正压和负压两种方式,负压策划是将内外管间抽成真空,正压策划则是灌以氮气维持正压,两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。

一贯采取应用的方法有机器喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等,目上广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管

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