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全自动单瓶特气柜

特气柜主要用要供应特种气体,如易燃,易爆,剧毒等,主要用于半导体和LED的新兴区域。按照生产的需要,有普通的Gas cabinet和BSGS等大流量的气体供应气柜。 本集团官网常年供给衣食父母所需的特气柜,拥有接连许多年的气柜生产经验,以及国内优秀的售下效劳TEAM。
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产品详情

名称:单瓶特气柜(Gas Cabinet)规格:单手工制作气瓶,全自动

型号:WF-GC100

特气柜尺寸:W550宽×D500深×H1800高

■ 外吹扫:PN2,1/4"MVCR接口

■ 抽真空:GN2,1/4"MVCR接口

■ 气动隔膜阀:CDA驱动,1/4"卡套接口

■ VENT排空管:1/2MVCR接口

■ 手工制作气体出口:2个,1/4"MVCR接口

■ 盘面规格:1/4"盘面

■ 准则配备:防爆防腐柜体,防爆自锁门,防爆玻璃观察窗,泄漏报警,远程切断,欠压报警,主材SS316L

■ 柜体换气量:4"排气口,1200次/钟点

■ 把握柜尺寸:W550宽×D230深×H320高

■ 把握柜电源:220VAC,50HZ,200W,漏电保护

■ 操作界面:7"彩色触摸屏

■ 选配:手工制作气瓶重量监控器,手工制作气体超压报警,盘面加热及温控装置,报警信号手机短信与电话通知

适用范围:应用在 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备上,适用于高校实验室、质料归纳实验室、芯片半导体、光伏太阳能电池、生物医药工程、微电子新质料等区域。

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